三温区真空立式管式炉的炉管垂直立式布置,沿轴向分为上、中、下三个独立加热温区,各区拥有独立加热元件、独立热电偶、独立 PID 温控;配备真空密封法兰与真空机组,可在真空/惰性气氛/还原气氛下完成高温热处理。
三温区真空立式管式炉操作流程与安全规范:
装样与密封:样品需置于炉管中部的加热区。安装法兰时,应按顺序放置密封圈和压环,分次均匀拧紧螺丝,确保密封不偏斜。
气氛置换与检漏:若需惰性气体保护,应先抽真空再通入气体,重复2-3次以排尽氧气。使用氢气等还原气体时,必须用肥皂水对各接头进行检漏,确认无泄漏后方可缓慢开启。
升降温控制:
升温:低温段建议缓慢升温以避免样品热应力开裂;高温段根据材料特性调整。
降温:陶瓷材料降温速率建议≤15℃/min,金属材料≤25℃/min。需快速降温时可开启风冷/水冷系统,但必须确认样品能承受热冲击。
安全注意事项:
炉管内绝对压力不可大于0.15MPa;高纯石英管长时间使用温度应≤1100℃,且真空下高温使用温度建议≤800℃。
炉膛温度≥300℃时严禁打开炉膛;温度降至100℃以下方可关闭气体供应。
严禁在设备周围使用明火,避免氧气与氢气等助燃气体混合引发爆炸。