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  • 上海马弗炉科技 单温区等离子PECVD系统 查看详细介绍

    MFLPECVD408-12是一款PECVD系统的管式炉系统。由真空管式炉、射频电源、供气系统、真空系统组成。 最高温度可以达到1200度,采用30段程序温控仪表,K型热电偶,炉膛为高纯氧化铝陶瓷纤维,此设备可用于生长纳米线或用CVD方法制备各种薄膜。

    更新时间:2022-10-28

    厂商性质:生产厂家

    产品型号:MFLPECVD408-12

  • 1200度单温区CVD系统 查看详细介绍

    CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

    更新时间:2022-05-26

    厂商性质:生产厂家

    产品型号:

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