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1200度单温区CVD系统

描述:CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

更新时间:2022-05-26
产品型号:
厂商性质:生产厂家
详情介绍
品牌马弗炉升温速度(达到最高温)60min
内部尺寸60*1000mm加热方式电阻丝加热
最大功率4KWW控温精度1℃
最高温度1200℃价格区间5万-10万
仪器种类管式炉产地类别国产
应用领域化工,石油,能源,制药,综合

简介:

这款CVD系统是由3路供气系统+1200度单温区管式炉+真空系统组成


技术参数


设备型号MFLCVD406-12
性能控温范围室温-1200℃
工作温度≤1100℃
控温精度<1000   ±0.1℃ ; ≥1000±1℃
恒温波动±1℃(测试点为1000℃)
温度均衡±3℃(测试点为1000℃)
升温速度推荐1000度以下≤10℃/min,最快升温速度≤30℃/min
降温速度700℃以上≤10℃/min
炉表温度炉体表面温度小于室温+10(测量点为1000℃)
构成外装冷轧钢板,表面耐药性涂装
炉体陶瓷纤维
传感器1200度K型热电偶
加热元件HDR优质电阻合金丝
冷却风叶轴流风扇
炉体结构双层壳体结构,配有风冷系统
控制器控制方式PID控制
设定表示数字设定/数字显示
超温保护控制器一体型
超温设定数字设定
运行功能定制运行/程序运行(30段程序控温)
附加功能偏差修正、停电补偿、锁键功能
定时器1分-99小时59分以及999小时50分数字设定、自动运行、快速自动停止
真空系统真空度1.选配机械泵可达真空   10的-2次pa                                            2.选配我司高真空系统(机械泵+分子泵组合),可达1.33*10的-4次方pa(空炉状态)
隔热管堵 2只,氧化铝材料
炉管石英管
真空法栏不锈钢真空法兰
压力表-0.1至0.15mpa
供气系统质子流质计量程和气体:5-500SCCM、1-10SLM  (你可以任意选择以上量程和所通气体的类型)                                                                流量控制精度  ±1.0%F.S
路数   1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路)
接头类型 双卡套不锈钢接头
压力真空表表-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格
安全工作环境RT±5-40℃
使用保障开门断电   超温报警 漏电保护 过温保护
规格炉体结构卧式
炉管尺寸Φ60mm
电源电压220V50HZ
输入功率4KW
出厂清单管式炉一台
供气系统一套
高温手套卡斯顿一双
炉勾一把
气管一根
设备说明书一份
仪表说明书一份
保修卡一份
选购品移动炉架不锈钢
触摸屏仪表485转换接口50段编程,可实现与计算机连接。通过专用的计算机控制系统来完成与单台或多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。



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